Materialanalytik

Zur prozessbegleitenden Analytik und Qualitätskontrolle im Reinraum (ISO 14644 Kl. 6) dient ein System, das optische 3D-Mikroskopie effektiv mit Profil- und Rauigkeitsmesungen, sowie mit chemischer Oberflächenanalytik d. h. Laserinduzierte Plasmaspektroskopie (LIPS) verbindet.

Weiterhin führen wir in Zusammenarbeit mit unseren Partnern folgende werkstofftechnische und materialwissenschaftliche Untersuchungen durch:

• Untersuchungen der Morphologie von Oberflächen und Beschichtungen mittels REM/FIB
• TEM Untersuchungen nanokristalliner Strukturen mittels Feinbereichsbeugung (SAED)
• Ermittlung der chemischen Zusammensetzung mittels EDX
• Haft-, Kratz- und Biegefestigkeiten von Beschichtungen
• Härte und E-Modul von Beschichtungen
• Elektrische Charakterisierung von Funktionsschichten mittels Leitfähigkeitsmessungen und Impedanzspektroskopie
• Bestimmung der Oberflächenenergie (Benetzbarkeit)

3D-Scan: MEMS-Struktur mit H2-empfindlicher
Funktionsschicht, LIPS-Laserspots und Schnittlinie für Rauigkeitsmessung

REM-Bild: antibakterielle Cu-DLC Multischicht (EDX-Line Scan auf FIB-Schnitt)